各種因素對于厚度測量誤差的影響

測量過程中各種因素對于厚度的影響

材料磁性的影響
磁性表示材料對磁場的適應(yīng)程度。鐵或鎳等物質(zhì)具有高磁性。它們會被磁化并加強(qiáng)磁場。

由于金屬及其合金的磁性不同，儀器必須對不同的材料重新校準(zhǔn)。

曲面的影響
實(shí)際上，大多數(shù)測量誤差是由于樣品的形狀造成的。對于曲面，通過空間的磁場比例是不同的。例如，在平板上校準(zhǔn)儀器，在凹面上測量會導(dǎo)致測量結(jié)果偏低，而在凸面上測量會導(dǎo)致測量結(jié)果偏高。 這種方式造成的誤差可能是實(shí)際值的數(shù)倍！

 Influence of the surface curvature on the layer thickness measurement with the magnetic induction process
小樣品或薄樣品的影響
如果樣品很小或很薄，也會產(chǎn)生類似的效果。 在這種情況下，磁場同樣會延伸到樣品之外的空間區(qū)域，從而影響測量結(jié)果。 為避免這些誤差，應(yīng)始終在無涂層的實(shí)際工件基材上進(jìn)行校準(zhǔn)。

粗糙度的影響
對于粗糙表面，測量結(jié)果可能會失真，這取決于探針是放置在粗糙輪廓的“谷"還是“峰"上。這樣的測量結(jié)果差異會很大，建議通過多次重復(fù)測量取平均值來得到一個穩(wěn)定的結(jié)果。 一般來說，只有當(dāng)涂層厚度至少是粗糙度峰值的兩倍以上時，在粗糙表面上測量涂層厚度才有意義。

 Ayer Thickness Measurement With Magnetic Induction Process
為了獲得更好的精度，F(xiàn)ischer提供了大觸點(diǎn)的探頭以及雙觸點(diǎn)探頭。這些探頭能覆蓋粗糙表面，從而減少了測量值的離散性。
操作人員的影響
最后重要一點(diǎn)，儀器的操作方式也是一個主要的影響因素。確保探頭始終垂直接觸被測面，且不受外力。為了獲得更準(zhǔn)確的測量值，還可以借助測量臺來使探頭自動接觸樣品。

測量過程中各種因素對于厚度的影響